(1) Parçaların temizlenmesi ve ön işlem dahil olmak üzere PVD öncesi işlem.Spesifik temizleme yöntemleri arasında deterjanla temizleme, kimyasal çözücüyle temizleme, ultrasonik temizleme ve iyon bombardımanı temizleme bulunur.
(2) Vakum odası temizliği ve armatürleri ile öğelerin ve armatürlerin montajı, devreye alınması ve bağlanması dahil olmak üzere bunları fırına koyun.
(3) Vakumlama, genellikle 6,6 Pa veya daha fazla pompalama, vakum pompasını korumak ve difüzyon pompasını ısıtmak için difüzyon pompasının önünü daha erken açar.Ön ısıtma yeterli olduktan sonra yüksek valf açılır ve difüzyon pompası ile 6 x 10-3 Pa yarım dip vakuma pompalanır.
(4) Pişirme, öğeleri istenen sıcaklıkta pişirme.
(5) İyon bombardımanı, vakum genellikle 10 Pa ila 10-1 Pa'dır, iyon bombardımanı voltajı 200 V ila 1 KV arasında bir negatif yüksek voltajdır ve saldırı süresi 15 dakika ila 30 dakikadır.
(6) Ön eritme, malzemenin önceden eritilmesi için akımın ayarlanması, kaplamanın önceden eritilmesi için akımın ayarlanması ve 1 dakika ~ 2 dakika boyunca gazdan arındırma.Buharlaşan birikim.Buharlaşma akımı, istenen biriktirme süresi bitene kadar gerektiği gibi ayarlanır.Soğutma, eşyalar vakum odasında belirli bir sıcaklığa soğutulur.
(7) Öğeler çıkarıldıktan sonra vakum odası kapatılır, vakum l × 10-1Pa'ya boşaltılır ve bakım pompası ve soğutma suyu kapatılmadan önce difüzyon pompası izin verilen sıcaklığa soğutulur.